ZHCAED4 August 2024 ISO6520 , ISO6520-Q1 , ISO6521 , ISO6521-Q1
2.4 半導體測試和測量
對半導體集成芯片 (IC) 的需求持續增長，并推動了對更精確和密度更高的半導體測試設備（如自動測試設備 (ATE)）的需求增加。ATE 是容納各種測試板的密集測試設備，每個測試板都能夠提供或測量各種類型的數字測試圖形、任意波形、強大的直流電壓源、電流源等。高資源密度和縮小電路板尺寸是實現更高測試吞吐量的關鍵。
例如，ATE 中的一種資源是源測量單元 (SMU) 儀器，它可以提供電流/電壓并測量電流/電壓。SMU 資源將兩款儀器（可編程電源和數字萬用表）的功能集于一身。根據具體規格，某些 SMU 還可以串聯堆疊，如圖 2-7 所示，以達到需要更高偏置電壓的半導體技術所要求的更高測試電壓。
圖 2-7 采用 ISO65xx 的可堆疊隔離源測量單元 (SMU) 設計ISO65xx 等功能隔離器為空間受限的應用提供了尺寸優勢，常見于測試和測量卡。ISO65xx 可用于中央控制 ASIC 和每個 SMU 卡之間。當多個 SMU 卡疊放時，ISO65xx 會阻斷高電壓共模，而不會在隔離柵上引入漏電流。通常，每種資源都具有相對于測試儀接地的最大電壓規格，這決定了設計中所需的功能隔離器工作電壓 (VIOWM)。